納米壓痕試驗機產品介紹
日本Elionix ENT-5 納米壓痕試驗機專門對于軟質材料（彈性模量：幾GPa或更小）和10nm或更小測試深度的測試可以獲得優異的重復性和穩定性，這使得100nm或更小的超薄膜的納米壓痕測試成為可能。
適用于各種材料：
電鍍、硬涂層薄層
樹脂、聚合物薄膜
超薄DLC涂層
功能性樹脂、表面改性層
細顆粒和粉末材料
第5代Elionix納米壓痕測試儀
通過抑制測量環境中的干擾實現高數據再現性
可靠精密的“日本制造”
支持從0.5μN到2,000mN的廣泛測試負載
納米壓痕測試
可以獲得薄膜或表層的硬度和彈性模量等機械特性。分析加載/卸載曲線以確定特性。
分析加載/卸載曲線以確定特性，無需觀察壓痕
符合ISO14577-1 / JIS Z 2255
產品特點：
溫度控制
防止樣品和試驗機熱膨脹
環境隔離罩內溫度控制在±0.1℃
機架和樣品架/載物臺使用低熱膨脹材料（Nobinite）
減少環境氣流的影響
高精度定位平臺
采用Elionix電子束光刻系統內部開發的高精度“Kusabi”平臺
0.1um定位步長
以2,000倍的放大倍率觀察材料并設置測量點。
主動隔振
抗振楔形高精度平臺
主動隔振臺
軟件
日常檢查的彈出提示：壓頭尖端校正，溫度漂移校正。
易于使用的操作性
數據再現性
通過抑制振動和溫度變化引起的干擾提高數據再現性。
即使連續測量也能獲得穩定數據
可維護性
易于更換裝載裝置
易于更換裝載裝置，將停機時間降至最低
可選測試：
表面輪廓測試 | 壓頭的表面輪廓特征。 |
粘彈性試驗 | 這是獲得彈性模量 E'、損耗彈性模量 E”和損耗系數的方法。 |
軟化溫度測量 | 這是一種通過使壓頭與樣品上的壓頭接觸恒定負載，同時通過加熱支架升高溫度來測量軟化溫度的方法。 |
水下測試 | 硬度測試可在水中進行。 |
微粒抗壓強度測試 | 這是用連續載荷的平面壓頭測量顆粒的斷裂強度/變形強度的方法。 |
顆粒電阻測試 | 顆粒強度測試的附加功能，在壓縮時測量顆粒的電阻。 |
納米壓痕試驗機技術參數
技術參數：
負載/負載分辨率 | 高負荷單位：5μN～2,000mN／5nN |
加載方式 | 電磁 |
測量范圍 | ±50μm |
測量分辨率 | 0.3pm |
測量方法 | 光學的 |
樣本量（典型） | φ50ｘt3.5mm |
可測量區域 | X50mm,Y40mm |
最小增量 | 0.1μm |
納米壓痕試驗機標準配置
納米壓痕試驗機可選配件
可選配件：
加熱架 | 高負載單元：Max. 加熱溫度 250℃ |
冷卻架 | 控溫范圍：-30℃～100℃ |
樹脂包埋樣品的樣品架 | 樹脂包埋樣品的樣品架 |
定制樣品架 | 可根據要求設計定制樣品架 |
